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集成電路潔凈廠房新風機房布置的特點

發布時間:2023-02-28 17:15:14

集成電路芯片工廠對生產環境的溫度、濕度、潔凈度、防微振等均有著嚴格的控制要求,且各種配套系統繁多復雜。集成電路潔凈廠房新風機房通常設置在Fab工廠的屋面,常見的設置方式有3種方式。
 
(1)第一種方案,將新風機房置于建筑物的長邊末端,這樣可以確保新風輸送的距離達到zui長。這種布局特別適用于生產規模較小、建筑規模有限的芯片工廠。
 
(2)第二種方案,將新風機房設置在建筑物的短邊兩側。每個機房負責其鄰近區域的空調負荷,從而使得送風距離達到zui短。然而,由于空調機房的位置高于大屋面,可能會導致中間屋頂區域的排水受阻,進而產生潛在的漏水問題。此外,機房較高的位置也會給外觀設計帶來一定的挑戰。
 
(3)第三種方式是,將新風機房置于建筑物的中心位置,經過處理的新風可以直接輸送到下方的上技術夾層(即送風靜壓箱)。這種中央高、兩側低的布局不僅有利于屋頂排水的順暢,還能更好地控制女兒墻的高度。
 
許多項目都傾向于選擇第三種方式。但需要注意的是,這種布局方式會減少下方上技術夾層(靜壓箱)的高度。為了確保空氣流動的穩定性和日后的FFU日常維護,必須保持一定的凈高。根據筆者的建議,最小的凈高應為1.5米。

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